不久前，中科院長春光機(jī)所旗下長春光華微電子設(shè)備工程中心有限公司（光華微電子）宣布研制成功國內(nèi)首臺(tái)商用12英寸全自動(dòng)晶圓探針臺(tái)。

這回研發(fā)成功的晶圓探針臺(tái)產(chǎn)品，是半導(dǎo)體行業(yè)重要的檢測裝備之一，可將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來，在進(jìn)入后序工序前予以剔除，從而大幅度降低器件的制造成本。

探針臺(tái)技術(shù)門檻較高，目前市場處于雙強(qiáng)壟斷態(tài)勢，東京電子和東京精密兩家日本公司占據(jù)了絕大部分市場份額。我國在探針臺(tái)研制方面已有多年技術(shù)積累，產(chǎn)品以8英寸為主，光華微電子于2015年正式立項(xiàng)開展12英寸全自動(dòng)探針臺(tái)產(chǎn)品研發(fā)，先后突破了6項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)。今年，光華微電子推出的第一代產(chǎn)品機(jī)將在上海展出，并全面推向市場。