半導體聯盟消息，2020年6月22日，上交所正式受理了江蘇微導納米科技股份有限公司（以下簡稱為“微導納米”）科創板上市申請。

據招股書顯示，微導納米以原子層沉積（以下簡稱“ALD”）技術為核心，致力于先進微、納米級薄膜沉積技術和設備的研究與產業化應用，為光伏、集成電路、柔性電子等半導體與泛半導體行業提供高端裝備與技術解決方案。

目前，微導納米集成電路領域設備樣機已開發完成，并實現了Al2O3、HfO2、ZrO2、TiO2、ZnO、Ta2O5、SiO2、TiN等多種關鍵工藝材料的薄膜沉積驗證，薄膜厚度均勻性等技術參數已經達到集成電路領域使用標準，但受限于生產環境與檢測手段等因素，該產品在集成電路標準要求下的顆粒度等關鍵指標尚有待驗證。

微導納米表示，隨著公司集成電路高端裝備產業化應用中心的落成，公司產品的生產環境與檢測手段將大幅提升，有望突破技術壁壘，實現集成電路制造核心裝備的國產化，打破國外廠商的市場壟斷。

近年來，微導納米經營業績實現大幅增長。招股書顯示，2017-2019年，微導納米實現營業收入分別為0元、4,191.06萬元、21,581.56萬元；實現凈利潤分別為-891.18萬元、-2,919.29萬元、4,141.41萬元。報告期內，微導納米主營業務收入主要來自ALD設備。2018年和2019年，微導納米來自于ALD設備的收入金額分別為3,898.03萬元和20,194.69萬元，占主營業務收入的比例分別為93.02%和93.59%。

據披露，微導納米此次擬募集資金5億元，在扣除發行費用后擬用于投建年產120臺基于原子層沉積技術的光伏、柔性電子及半導體設備擴建項目、集成電路高端裝備產業化應用中心項目、以及補充流動資金。

其中，年產120臺基于原子層沉積技術的光伏、柔性電子及半導體設備擴建項目是基于該公司現有ALD設備產線進行升級擴產，開發適用于光伏、集成電路、柔性電子的ALD設備，實現年產120臺ALD設備的項目擴產。

項目建成后，微導納米可進一步推動給我國薄膜沉積設備的發展，實現高端裝備國產化的戰略目標。微導納米稱，該項目有利于公司在半導體與泛半導體不同領域內實現橫向發展。從而提升薄膜沉積設備市場占有率，促進國內薄膜沉積設備與技術的發展，從而進一步實現半導體及泛半導體行業高端裝備的國產化替代，打破半導體及泛半導體行業內進口設備的壟斷地位，彰顯國內企業研發、技術及生產實力。

而集成電路高端裝備產業化應用中心項目擬于無錫市新吳區梅路租賃廠房建設集成電路高端裝備產業化應用中心，致力于研發設計幾乎ALD技術的集成電路高端制造裝備。建設將重點開發集成電路配套高端裝備，深入研究ALD技術在集成電路領域的運用，并進行單片及批量機型ALD設備開發、晶圓傳輸系統開發。

微導納米表示，項目建成后，可進一步推動我國薄膜沉積設備的發展，實現高端裝備國產化的戰略目標，提高公司核心競爭力。

關于未來發展戰略，微導納米表示，公司以ALD技術為核心，在繼續保持光伏領域的技術和市場優勢的前提下，擴大在集成電路、柔性電子和其他新能源等領域關鍵裝備產品，通過打造先進的ALD 技術產業化研發中心，針對市場發展和需求開發專用于產業化的鍍膜解決方案和產品，引領創新性應用，不斷向產品橫向以及縱深發展；同時，擇機通過收購等方式，對核心技術上下游關鍵工藝進行技術整合，針對新興產業形成一整套技術解決方案，力爭成為全球微納制造裝備領導者。