ASML近日官宣，最新規格EUV光刻機擬明年中期發貨。

據《科創板日報》消息，ASML公布了EUV路線圖上的新機型TWINSCANNXE:3600D的最終規格，這是30mJ/cm2的曝光速度達到每小時曝光160片晶圓，提高了18%的生產率，并改進機器匹配套準精度至1.1納米，并計劃于2021年的中期開始發貨。

在DUV光刻業務領域，ASML在本季度對第一臺TWINSCAN NXT:2050i進行了質量認證，并于第四季度初發貨。NXT:2050i基于NXT平臺的新版本，其中包括掩模版工作臺，晶圓工作臺，投影物鏡和曝光激光器的技術改進。該系統提供了比其前身更好的套刻精度控制，并具有更高的生產率，而且，NXT:2050i 將立即進入批量生產。

ASML是全球光刻機行業龍頭，市占率超過60%，在DUV浸入式光刻機市場占據了最大的份額，并壟斷了頂級的EUV光刻機市場。

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