半導(dǎo)體聯(lián)盟消息，國外媒體9月28日報道，而消息人士透露，臺積電正在加快研發(fā)極紫外光刻工藝，他們預(yù)計到明年年底，極紫外光刻機(jī)的累計采購量將達(dá)到約55臺。

在8月份的全球技術(shù)論壇期間，臺積電曾透露全球目前在運(yùn)行的極紫外光刻機(jī)中，他們約有一半，產(chǎn)能則是預(yù)計占全球的60%。

臺積電是從第二代的7nm工藝開始采用極紫外光刻機(jī)的，7nm之后的工藝，就將全部采用極紫外光刻機(jī)，隨著5nm工藝的大規(guī)模投產(chǎn)，6nm工藝、第二代5nm工藝和3nm工藝開始籌備量產(chǎn)，他們對極紫外光刻機(jī)的需求也越來越大。

阿斯麥?zhǔn)悄壳叭蛭ㄒ荒苤圃鞓O紫外光刻機(jī)的廠商，臺積電所需要的極紫外光刻機(jī)，也就全部來自于阿斯麥。

阿斯麥極紫外光刻機(jī)

目前還不清楚臺積電已經(jīng)向阿斯麥采購了多少臺極紫外光刻機(jī)，但從阿斯麥的年報來看，他們從2012年就已開始交付極紫外光刻機(jī)，到今年二季度結(jié)束時，他們已累計向用戶交付76臺極紫外光刻機(jī)，按50%的比例計算，臺積電目前擁有的極紫外光刻機(jī)，就是在38臺左右。