半導(dǎo)體聯(lián)盟消息,國外媒體9月28日?qǐng)?bào)道,而消息人士透露,臺(tái)積電正在加快研發(fā)極紫外光刻工藝,他們預(yù)計(jì)到明年年底,極紫外光刻機(jī)的累計(jì)采購量將達(dá)到約55臺(tái)。

在8月份的全球技術(shù)論壇期間,臺(tái)積電曾透露全球目前在運(yùn)行的極紫外光刻機(jī)中,他們約有一半,產(chǎn)能則是預(yù)計(jì)占全球的60%。

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臺(tái)積電是從第二代的7nm工藝開始采用極紫外光刻機(jī)的,7nm之后的工藝,就將全部采用極紫外光刻機(jī),隨著5nm工藝的大規(guī)模投產(chǎn),6nm工藝、第二代5nm工藝和3nm工藝開始籌備量產(chǎn),他們對(duì)極紫外光刻機(jī)的需求也越來越大。

阿斯麥?zhǔn)悄壳叭蛭ㄒ荒苤圃鞓O紫外光刻機(jī)的廠商,臺(tái)積電所需要的極紫外光刻機(jī),也就全部來自于阿斯麥。

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阿斯麥極紫外光刻機(jī)

目前還不清楚臺(tái)積電已經(jīng)向阿斯麥采購了多少臺(tái)極紫外光刻機(jī),但從阿斯麥的年報(bào)來看,他們從2012年就已開始交付極紫外光刻機(jī),到今年二季度結(jié)束時(shí),他們已累計(jì)向用戶交付76臺(tái)極紫外光刻機(jī),按50%的比例計(jì)算,臺(tái)積電目前擁有的極紫外光刻機(jī),就是在38臺(tái)左右。