半導體聯盟消息,2020年6月17日,韓國SK Materials表示,該公司已于近期開始了高純度(99.999%)氟化氫(蝕刻氣體)量產。由于純度已達到一定程度,三星電子及SK海力士也都導入使用。
根據《日本經濟新聞》17日報導,SK Materials的99.999%(5N)高純度氟化氫,雖然在純度上遜于日本產的99.999999999%(11N)超高純度氟化氫,但是已被用于晶圓清洗等部分制程。
隨著高純度氟化氫被用于半導體的清洗用途,也由于半導體制程的微細化,需求量也跟著快速增加。
2019年11月。SK Materials成立了相關材料的研發中心。在研發過程中成功的試作出高純度氟化氫,也在韓國慶尚北道的榮州工廠,設置了年產量15公噸規模的生產設備,逐步的朝著國產化目標邁進。計劃在2023年前,國產化的比率要拉高到70%。
此前,韓國半導體業,100%依賴日本等國所生產的高純度氟化氫。不過2019年7月開始,日本針對出口到韓國的高純度氟化氫、氟化聚醯亞胺,以及光阻劑等3種先進化學品,實施了嚴格的出口管制。這也使得日本在出口這些化學原料時,必須一一接受當局審核才得以放行。
也由于這幾種化學原料,是OLED面板及半導體生產所不可或缺的,嚴重關系到韓國電子業的未來發展。韓國也立即展開動作,一方面尋找日本之外的供貨來源,另一方面也在政府支援下積極的推動國產化。
此外,韓國的Soulbrain,也展開了純度99.999%以上的液態氟化氫生產。