日前，國家大基金再次出手投資集成電路設備企業。

國家企業信用信息公示系統顯示，1月7日睿勵科學儀器（上海）有限公司（以下簡稱“睿勵科學儀器”）發生股權變更，新增國家集成電路產業投資基金股份有限公司（以下簡稱“國家大基金”）、上海同祺投資管理有限公司、海風投資有限公司（HAI FENG INVESTMENT HOLDING LIMITED）3家股東；與此同時，注冊資本由1.18億元變更為3.10億元。

根據天眼查信息，此次國家大基金等入股后，目前睿勵科學儀器的第一大股東為上海浦東新區國資委旗下的上海浦東新興產業投資有限公司，持股比例20.75%；第二大股東為睿勵科學儀器董事長及法定代表人呂彤欣所持有的上海盈贏微電子技術有限公司，持股比例13.99%；這次新增的3家股東上海同祺投資管理有限公司、國家大基金、海風投資有限公司依次位列第三、第四、第五大股東，其中國家大基金持股比例12.12%。

近半年來，國家大基金不止一次投資集成電路設備企業。2019年9月，國家大基金投資入股精測電子旗下專注于半導體測試設備的子公司上海精測；同年10月，國家大基金與中科儀簽署協議，戰略投資中科儀真空干泵產業化升級。如今，國家大基金再次將目光聚焦于設備領域，正式將睿勵科學儀器納入“國家隊”。

值得一提的是，中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”）亦曾于2019年8月發布公告，擬向睿勵科學儀器投資1375萬元，投資完成后將取得睿勵科學儀器約10.41%股權。中微公司表示這次投資將使公司能夠布局集成電路工藝檢測設備領域，是其聚焦并落實高端芯片設備戰略的又一步驟。不過，目前工商資料上尚未顯示交易完成。

資料顯示，睿勵科學儀器成立于2005年，致力于研發、生產和銷售具有自主知識產權的集成電路生產制造工藝裝備產業中的工藝檢測設備。根據中微公司披露，2018年、2019年1-6月睿勵科學儀器分別實現營收2733.02萬元、80.45萬元，分別實現凈利潤-4037.23萬元、-1889.97萬元；投前估值約為1.18億元。

中微公司當時指出，睿勵科學儀器自主研發的12英寸光學測量設備TFX3000系列產品，已應用在28納米芯片生產線并在進行14納米工藝驗證，在3D存儲芯片上達到64層的檢測能力。產品目前已成功進入世界領先芯片客戶3D閃存芯片生產線，并取得7臺次重復訂單，是目前進入該國際領先芯片生產企業唯一的國產集成電路設備產品。