2018年7月26日,山東有研《集成電路用大尺寸硅材料規模化生產》正式簽約;

2019年3月19日,舉行開工儀式,開始樁基施工;

2019年6月,啟動主體施工;

2019年12月18日,主體結構封頂;

今年7月份,130余臺套工藝設備陸續進場,部分生產線已進入試運行階段。

半導體聯盟消息,2020年8月份,半導體級八英寸硅單晶一次性拉制成功……

一環接一環,環環相扣,一絲不茍,有條不紊。

這樣的進度,這樣的順利,讓這一省級重大項目的負責人感到欣慰。近日,大眾網·海報新聞記者走進山東有研半導體材料有限公司,在直拉硅單晶生產車間,看到了“新鮮出爐”的硅單晶,這標志著項目的建設進入了一個新的階段,也標志著項目在德州廠房的建設達到了一個非常好的水準。

項目的順利體現在節點的提前,八英寸集成電路用八英寸直拉硅單晶在德州拉制成功,不但收獲了預期的效果,而且提前完成了預期進度。

項目的順利還體現在一次性拉形成功,這是很難得的。“單晶生長的工藝非常復雜,一根單晶的全部生長周期通常需要三天左右,對外部水、電和氬氣等動力條件的供應穩定性甚至地面震動幅度的要求都很苛刻,母公司有研半導體在北京的工廠以前進行單晶生長時會出現液面不穩定而造成單晶斷棱出現位錯的情況,而這次在德州的新工廠單晶是一次性拉制成功。”公司副總經理劉斌介紹說,確實可喜可賀。

這樣的成績,來源于有研半導體材料有限公司強大的根基,公司作為中央直屬企業有研集團的成員單位,是半導體材料行業的名副其實的“國家隊”。自2001年成立以來,在國內最早開發出8英寸和12英寸硅片并實現商業化,已發展成為我國半導體硅材料領域的龍頭企業。

這樣的成績,同樣離不開項目所在地的“沃土”。談起當地支持,山東有研半導體材料有限公司副總經理常青有說不完的話題,感動于德州經濟技術開發區行政審批局,把所有審批項目代辦、組合辦,少跑了腿,多辦了事;感動于供水供電部門,派專人盯在項目現場,及時解決用水用電問題;感動于經開區管委會,為北京搬遷過來的70余人的團隊解決了就餐、住宿難題……

當然,項目在建設過程中,也遇到了始料未及的阻礙。今年以來,新冠疫情影響給項目建設帶來了巨大的挑戰。不僅僅有人員防疫的問題,還有原材料問題。德州工廠所需要生產物料,很大一部分都是從到日本、韓國、美國、馬來西亞、臺灣等國家和地區購入,得益于公司領導層的“先行一步”,項目遇到的問題始終沒有“趕上”項目的進度。

疫情一發生,公司立即開會討論給所有的供應商追加訂單。“到三月份的時候,國外疫情發生變化,我們考慮到運輸、漲價等因素,又及時訂購了一批物資,如果工廠停的話影響很大,恢復需要時間,對客戶也有影響,所以今年我們是平穩過渡。”劉斌說,疫情期間,所有事情的節奏把握得恰到好處,正是由于提前對策和計劃,德州工廠的生產建設從去年到現在一直沒有中斷過。

當前,5G投資如火如荼,大數據、人工智能、工業互聯網、物聯網等技術方興未艾,大尺寸硅材料受人工智能、大數據等新興產業的帶動,市場迎來快速增長,這對德州工廠也提出了迫切的需求。

據常青介紹,硅片為適應芯片制程的進步正朝大尺寸方向發展,硅片尺寸越大,單位芯片制造的成本越低,邊角浪費的硅片越少,12英寸硅片成為主流。而項目的二期工程12英寸硅片規模化生產項目也在積極籌備,計劃明年開工建設。

根據調查,有研當期項目投資18億元,總建筑面積約10萬平方米,新建單晶廠房1棟、硅片加工廠房1棟、綜合動力站1棟及倉庫、氣站等;形成年產276萬片8英寸硅片、180萬片6英寸硅片以及300噸12-18英寸硅單晶的生產能力。項目建成投產后,可實現年銷售收入10億元、利稅2億元,將成為北方最大的半導體材料生產基地,而該項目作為德州東部城區創新組團的龍頭項目,瞄準我國重大戰略產業短板,填補省內相關領域空白,對德州市乃至山東省發展新一代信息技術產業,打造戰略性新興特色產業集群意義重大。