SemiUnion 7月27日，芯源微高端晶圓處理設備產業化項目開工儀式舉行。

據沈陽芯源公司官微指出，芯源微高端晶圓處理設備產業化項目總投資5.28億元，將分2期建設，其中一期投資2.38億元。項目總用地面積45576.95平方米，總建筑面積76728.84平方米，一期建筑面積47012.17平方米。項目主要用于生產高端晶圓處理設備，包括前道涂膠/顯影機及前道單片式清洗機等，擁有廣闊的市場前景。項目將打造東北地區頂級的半導體專用設備研發與生產基地，全部達產后將帶動就業2000人。

資料顯示，芯源微成立于2002年，是由中科院沈陽自動化研究所發起創建的國家高新技術企業，目前主要從事半導體專用設備的研發、生產和銷售，產品包括光刻工序涂膠顯影設備（涂膠/顯影機、噴膠機）和單片式濕法設備（清洗機、去膠機、濕法刻蝕機），產品可用于6英寸及以下單晶圓處理（如LED芯片制造環節）及8/12英寸單晶圓處理（如集成電路制造前道晶圓加工及后道先進封裝環節）。

2019年12月16日，芯源微在上海證券交易所科創板上市，成為了遼寧省科創板“第一股”和中科院第一家科創板上市企業。

據介紹，芯源微生產的涂膠顯影設備產品成功打破國外廠商壟斷并填補國內空白，其中，在LED芯片制造及集成電路制造后道先進封裝等環節，芯源微作為國內廠商主流機型已成功實現進口替代；在集成電路制造前道晶圓加工環節，芯源微已成功突破前道涂膠顯影設備關鍵技術，成型產品目前正在長江存儲、上海華力等前道芯片制造廠商進行工藝驗證與改進。

芯源微客戶名單可謂“大咖”云集，包括臺積電、長電科技、華天科技、通富微電、晶方科技、株洲中車、青島芯恩、上海積塔、寧波中芯、廈門士蘭、華燦光電、乾照光電、澳洋順昌等一線大企業。

沈陽市委常委、副市長李松林聲稱，芯源微項目的開工對于沈陽市調整、完善產業結構具有重大意義。盡管芯源微項目投資僅5億元，但電子信息產業前途無量，這對于沈陽未來產業的全面提升和發展至關重要。

封面圖片來源：沈陽芯源公司