日前，天津綠菱氣體有限公司綠菱電子研發產業化基地項目舉行奠基儀式。隨著一鍬鍬土的培下，又一項濱海新區重點建設項目建成指日可待。該項目位于天津經濟技術開發區南港工業區，預計明年3月投入運行，研發生產產品將解決國家關鍵半導體材料的“卡脖子”技術難題，滿產后預計年銷售收入超過25億元。

電子氣體是發展集成電路、光電子、微電子，特別是超大規模集成電路、液晶顯示器件、半導體發光器件和半導體材料制造過程中不可缺少的基礎性支撐性原材料。綠菱集團公司是國內領先的特種氣體產品與服務提供商，為國內及全球多個著名芯片制造商提供產品和服務，公司打破了此前中國特種氣體被國外壟斷的歷史，為中國集成電路產業發展與關鍵材料突破提供堅實支撐。

正在建設中的綠菱電子研發產業化基地是綠菱集團重要生產基地之一，擬建成年產6000噸、47種電子特種氣體產品，服務于半導體集成電路、光伏、光纖等高精尖領域。項目占地54455.89㎡，建筑面積24453.36㎡，總建設投資3.2億元，年度計劃投資2億元，計劃于2021年3月建成。滿產后，項目預計年銷售收入25.68億元，利稅2.12億元，解決就業崗位150個。

“項目建成后，有3個車間、5個庫房，還有配套的綜合樓、公用配套設施等。”作為項目負責人，天津綠菱氣體有限公司總經理馬建修指著項目施工圖紙告訴記者。

“2008年，綠菱集團在天津武清區投資設廠，研發、生產各種電子特種氣體。近年來，天津大力發展半導體產業，形成了良好的產業基礎。我們實際上就是要緊跟半導體產業發展步伐，進行產品技術更新迭代，綠菱電子研發產業化基地建成后，將大大擴展產品種類，搶占市場先機。”綠菱集團副總裁王新鵬表示。隨著半導體先進制程的更新換代，日益緊迫的材料國產化替代進程，綠菱氣體有限公司將加大研發力度，加快研發的進度，為天津半導體產業的發展提供更好的產品和配套服務，不斷推動新一代特種氣體在我國高精尖領域的應用。 

據馬建修介紹，項目研發生產的關鍵電子特種氣體主要解決我國超大規模集成電路先進制程中的材料制約問題，為國家集成電路配套新材料產業提供重要保障。天津綠菱氣體有限公司將與京津冀相關集成電路制造企業實現協同發展，形成半導體產業聚集效應，推動天津傳統制造業向高端智能制造轉型升級。